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晶圓去膜液

REM-3662 去膜劑是一種用于Wafer Bumping的專業液,獨特的產品組分能夠加速剝離,不攻擊錫(或者錫鉛),特別適用于高密度錫球工藝制程。
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產品描述

產品描述 

REM-3662去膜劑是一種用于Wafer Bumping的專業液,獨特的產品組分能夠加速剝離,不攻擊錫(或者錫鉛),特別適用于高密度錫球工藝制程。


產品優點

1.高速剝離;

2.不攻擊錫(或者錫鉛);

3.統一的剝離速度,非常適合制程管理;

4.工作液壽命長;

5.槽液簡單易操作;

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物理參數

1.外觀:澄清至棕黃色液體

2.氣味:特征氣味

3.儲存溫度:5–35℃

4.含水率:<1.0%


槽液配制

1.100%原液配槽使用

2.工作液溫度:90–100℃


設備條件

1.工作槽:不銹鋼

2.加熱器:鐵氟龍

3.抽風設備:需要,可以選裝風量檔位裝置

 

槽液分析

1.工作液濃度:

a.試劑:0.1 N HCl,溴酚綠和甲基紅指示劑

b.步驟:

(1)移取1ml工作液,置于250ml錐形瓶內;

(2)加入100ml純水稀釋;

(3)滴入各5滴溴酚綠和甲基紅指示劑;

(4)用0.1N HCl滴定,由綠色至橙-粉紅色終點。

公式:REM 3662濃度(N) = ml HCl * N HCl   (工作液濃度:0.7–1.3 N)

2.水分檢測:

卡式水分儀:取1-2ml的工作液,

按照正常的操作流程讀取讀數 (含水率:<1.0%)


安全守則

任何公司或操作人員在使用前, 需先參考物料安全資料表以確保使用者安全。