晶圓鍍銅柱Pillar：專為鍍銅柱工藝設計，工藝流程簡單，產品性能穩定。
操作條件
參 數
范 圍
最 佳 值
銅濃度
45 – 55 g/L
50 g/L
酸濃度
90 - 110 g/L
100 g/L
溫度
25 – 50 ℃
40 ℃
REM-9001 潤濕劑
5 – 20 ml
10 ml
REM-9002 光亮劑
1 – 5 ml
3 ml
REM-9003 整平劑
溶液攪動
強力攪動
電流密度
5 - 20 ASD
15 ASD
